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金属软管波纹管

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金属软管波纹管
这款产品是超高真空系统专用的全金属柔性连接部件,是真空场景里实现管路柔性补偿的核心配件,适配严苛的高洁净真空工况。

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更新时间:2026-09-17
厂商性质:生产厂家
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金属软管波纹管

这款产品是超高真空系统专用的全金属柔性连接部件,是真空场景里实现管路柔性补偿的核心配件,适配严苛的高洁净真空工况。


核心结构:

管身由极薄的高纯奥氏体不锈钢通过液压胀形一体模压成型,整根波纹管本体没有拼接焊缝,波纹应力分布均匀,不会出现应力集中导致的开裂问题

两端搭载标准的CF刀口法兰,法兰表面经过精密研磨加工,搭配无氧铜垫圈就能实现金属对金属的超高真空密封,避免微小漏点

管身布满连续均匀的环形波纹,拥有很强的自由弯折能力,可以轻松弯曲成U型状态,适配复杂的安装空间布局

部分升级款的一端法兰设计为可回转结构,现场安装时可以自由对位,大幅降低管路装配的对位难度。


应用领域:

半导体刻蚀、PVD/CVD薄膜沉积设备,连接腔体与分子泵、离子泵,保障超高真空环境的稳定性

光学镀膜、光伏钙钛矿镀膜等产线,补偿管路形变,隔绝泵源振动,避免薄膜沉积过程受干扰

高校科研的超高真空实验腔体、表面分析仪器、电子束设备,适配精密实验平台的复杂管路布局

航天航空的低温燃料管路、真空模拟试验装置,适配深冷、高温等恶劣工况环境。


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