谈谈涡轮分子泵的操作及注意事项

　　涡轮分子泵是一种高真空泵，用于从气体系统中抽取气体分子。它由一系列的转子和静子组成，通过旋转产生高速气流，将气体分子排出系统。本文将介绍涡轮分子泵的工作原理、设计和应用。

　　涡轮分子泵的工作原理基于几何压缩效应和动能转换原理。当气体分子进入涡轮分子泵时，它们被引导到一个旋转的转子中。转子上有许多刀片，它们旋转时加速气体分子，并将其推向周围的壁面。接着，气体分子在壁面上发生弹性碰撞，被反弹回转子中心，并与其他分子重新碰撞。这个过程会使得气体分子在转子内不断地碰撞、扩散、再碰撞并逐渐失去动能。最终，气体分子被推到静子中，并通过真空口排出系统。

　　涡轮分子泵的操作步骤

　　1、启动前的准备：在开始使用分子泵之前，确保冷却系统已经接通并正常运行。同时，打开前级管道阀，并启动机械泵（前级泵）。

　　2、粗抽阶段：关闭高真空阀和粗抽阀，打开前级管道阀，启动粗抽泵开始对真空室进行抽气。当真空室内的压力降到150~100 Pa时，关闭粗抽阀，打开前级管道阀，然后启动分子泵。

　　3、加速过程：分子泵从静止状态达到额定转速通常需要5到10分钟。如果分子泵入口处装有液氮冷阱，应在泵加速到额定转速后加注液氮。

　　4、停机操作：在停机时，先关闭高真空阀。如果有液氮冷阱，还需要将冷阱加热。在冷阱达到平衡温度后，关掉前级管道阀，再切断分子泵电动机的电源使分子泵的转子减速。

　　涡轮分子泵的注意事项

　　1、防返流措施：在停机过程中，为了防止机械泵油蒸气和涡轮分子泵润滑油蒸气的返流，应在切断涡轮分子泵电动机的电源后，用一股干燥的反向气流对分子泵进行放气。

　　2、避免低转速运行：不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转，这可能会影响泵的性能和寿命。

　　3、防护措施：分子泵入口应装设防护网，以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。