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复合式分子泵按结构可分为哪几种呢?

 
  随着复合式分子泵的不断改进,其应用领域越来越广,在某些抽气系统上可以替代扩散泵,缩短了系统的抽气时间,并可获得无油污染的清洁真空环境。
  复合式分子泵用来获得高真空和超高真空,其广泛应用于高能加速器、可控热核反应装置、等离子体物理空间研究、表面物理和分析仪器、半导体和光学元器件制造、平板显示、太阳能电池、真空镀膜、真空冶炼等涉及真空技术的电子、冶金、化工、科研等众多领域。
  复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在l0级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压力。
  盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽,然后将数块圆盘串接起来构成,型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。抽气时靠高速转动的圆盘对气体分子进行“拖动”,使其沿沟槽作由内向外及由外向内的往复折回的定向流动,从而达到抽气目的。
  筒式牵引级是在圆筒形的转子或定子的圆柱面上开一定断面形状的沟槽,如矩形、圆弧形、三角形及其它形状的多头螺旋槽。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上,因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递,提高泵的抽气效果。在设计制造中,可以通过改变螺旋沟槽通道与抽气方向之间的夹角(螺旋升角)来达到较理想的抽气效果。

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