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涡轮分子泵的原理是怎样子的呢?

 
  涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
  是由动叶轮与静叶轮组合而成,比扩散泵节能、无油蒸汽污染,同时具有分子流时抽速大、压缩比高的特点,是目前国内大抽速的分子泵,动叶轮采用变截面加工,其强度增加重量减少,使分子泵性能更可靠、稳定。
  涡轮分子泵的工作原理:主要有立式和卧式两种。
  动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150~400米/秒)。单个叶轮的压缩比很小,涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。右图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。
  涡轮分子泵的特点:
  1、抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单
  2、工作范围:清洁的低真空~中、高真空,大气~超高真空
  3、极限真空:10/10torr
  

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