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扩散泵机组的性能特点你知道多少呢?

 
  扩散泵机组是目前获得高真空的醉广泛、醉主要的工具之一,通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。
  扩散泵机组的主泵是一种高真空泵,其工作介质为扩散泵油,其抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口在由罗茨泵和机械泵带走的过程,是一种抽速可以做得很高真空泵。油扩散泵不能单独使用,必须有前级真空泵串联,待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到扩散泵所能接受的压力时才能开始工作,否则,油扩散泵将不能正常工作并造成氧化大量的返油等情况。该设备可用于真空炉体、真空罐体、气站管道类等器件的真空排气。
  广泛应用于:真空冶炼、真空焊接、分析仪器、功能型镀膜、装饰型镀膜、电子管制造、电真空器件制造、光学、外层空间模拟、粒子加速器、石油化工、实验室研发、半导体制造等领域。
  扩散泵机组性能特点
  1、具有很大的抽速和抽气能力
  2、在高真空阶段具有恒定的最大抽气能力
  3、使用寿命长、基本不需要维护
  扩散泵中的油在加热到沸腾温度(约为200度)后产生大量的油蒸气,油蒸气经导流管从各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强,被抽气体的分子便不断扩散到高速定向蒸气流中,随着蒸气流带走。气体分子随蒸气流碰到泵壁又反射回来,再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后,气体分子被压缩到低真空端,再由下几级喷嘴喷出的蒸气进行多级压缩,最后由前级泵抽走,而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热,如此循环工作达到抽气目的。

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