复合式分子泵用来获得高真空和超高真空，其广泛应用于高能加速器、可控热核反应装置、等离子体物理空间研究、表面物理和分析仪器、半导体和光学元器件制造、平板显示、太阳能电池、真空镀膜、真空冶炼等涉及真空技术的电子、冶金、化工、科研等众多领域。复合式分子泵的结构特点：复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内((10-6～1Pa)具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。法国Alcatle公司生产的一种采用气体静承和动密封的...

旋片真空机组是运用转子和可在转子槽内滑动的旋片的旋转运动以获得真空的一种变容机械真空泵。中选用作业液来停止润滑并填充泵腔死隙，分隔排气阀和大气时，即为通常所称的旋片真空机组。无作业液时，即为旋片真空机组。在油封旋片真空机组中，习气上称皮带传动的为旋片真空机组，而把泵与电机间接衔接或用联轴器衔接的称为直联旋片真空泵。在每种泵中，又有单级和双级之分。在单级泵中，由于选用的构造方式和参数不同，泵的极限压力和用途也不同。旋片真空机组的运用：运用前，首要细心阅读产品说明书，开箱后应检查...

涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。涡轮分子泵的工作原理：主要有立式和卧式两种。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度（一般为150～400米/秒）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮...

1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换真空泵油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座...

小口径管路用橡胶圈密封真空法兰，被称为NW(或KF)法兰，广泛用于低、中和高真空系统中。其特点是可多次重复使用、操作简单、经济实惠。但是，NW法兰有两个大的问题点：一个是在设备烘烤时耐热程度有限；另一个是氢气、氦气的透气问题。使用NW法兰时，两个NW法兰中间安装有外套O形橡胶圈的中心支架，外侧通过卡箍可简单实现快速的安装和拆卸(图1)。使用氟橡胶圈的时候，烘烤温度一般可达150℃。图1利用卡箍和中心支架密封的示意图1—CF/NW转接法兰；2—卡箍；3—中心支架；4—O形橡胶圈...

干式螺杆真空泵是主要是利用一对螺杆，其特点是两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，所以使得干式螺杆真空泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高。但是在我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。干式螺杆真空泵，它利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它的优势弥补了油封式真空泵的不足，我们都称之为油封式真空泵的升级版...