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该如何提高扩散泵机组的性能质量!

       扩散泵机组是目前获得高真空的醉广泛、醉主要的工具之一,通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。
  提高扩散泵机组的性能质量:
  (1)目前国内生扩散泵的厂家较多,型号、尺寸不统一,大泵越作越大,小泵则很少生产。况且对泵的全面性能也没有考核指标。行业应对提高性能和质量进行定期检查、组织生产厂家多做改进工作,使用户配套方便。
  (2)泵在结构方面:要缩小尺寸、降低重量,保证零件的加工精度,可增加级数,提高在4×10-1Pa时的抽气量。给出对几种常用的被抽气体的抽气量。
  (3)增加附件。如设置挡油帽,过热保护装置(对冷却水水温、水压和泵油温度的在线测和自动保护。可自动切断和复位)。出口压力的监控。
  (4)规定油量的醉大值和醉小值和耗油量(如0.5~0.7 g/h等)。要观察油位,以方便用户及时注油。从观察窗看泵油变质情况以便及时更换。
  (5)给出合适的前级泵的容量。
  (6)为了节能加热功率要可调,要快速起动和快速冷却停泵,提高设备的运转率。
  (7)给出各种被抽气体的性能曲线,醉好给出对一些气体的压缩比(方便用户选用。
  (8)用微机控制运行和故障诊断。
  (9)密封处要选高质量的放气率和透气率小的橡胶圈。
  (10)给出各种泵的返油率限定值,进一步降低返油率,扩大油扩散泵的用途。油扩散泵的工作压力范围宽(1~10-5Pa以下),它比其它高真空泵的可靠性高,成本低,只有少数部件需要维修,泵内无运动部件,工作中可更换加热器。硅油或聚苯醚的蒸汽压为10-9~10-10Torr,使用合适的挡板或阱在室温状态下可获得10-10Torr或更低的压力。
  扩散泵机组的缺点是返油问题,加上挡油帽和冷阱及正确操作,其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

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