真空箱氦检漏回收系统
性能特点
高灵敏度
● 检漏精度*,可达5×10-12Pa.m3/s,R22:0.1克/年。
● 系统自动调零,消除氦本底影响。
高效率
● 干式检漏,检漏后试件无需进行干燥。
● 全自动压力监测,系统自动补充高纯氦气,以满足被测件氦浓度要求。
● 氦气回收率高达98%以上,尽可能减小氦气消耗,帮助我们的客户降低生产成 本。
● 多独立工位和管路设计,各工位独立自动工作,效率高,节奏快,帮助我们的客户在少的时间内生产的产品。
● 真空箱(两箱/三箱)交替工作,大大节约了单件检测时间,提高了检测效率。
真空箱氦检漏回收系统
高自动化程度
● 各工位全自动运行。
● 可实现工件自动进出真空箱。
● 微电脑控制,全自动检测,排除人为因素的干扰,避免产生误检和漏检。
● 人机交互界面,实时监测及诊断。
● 自动判断,声光提示。
● 输出设备,全数字显示检测结果。
● 稳定可靠,系统采用配置,确保性能可靠,自动故障检测。
● 可实现远程监控、统计分析、打印标签等功能。
高密封性能
● 专门设计工装夹具,满足氦检漏工艺的密封要求。
高安全性能
● 氦气示踪、安全环保。
● 系统配置安全光栅,双启动功能,以确保操作人员的人身安全。