一、概述
罗茨旋片真空机组是一种高效、多级组合的真空抽气系统,由罗茨泵(Roots Pump)和旋片式真空泵串联组成。该机组结合了罗茨泵的大抽速能力和旋片泵的高压缩比优势,广泛应用于需要中高真空(10⁻²~10⁻⁴ Pa)的工业领域,如半导体制造、真空镀膜、医药化工等。
二、工作原理
1、罗茨泵(主泵)
•采用一对同步反向旋转的叶轮(转子),通过非接触式啮合将气体从进气口推向排气口。
•无内部压缩,依赖高速旋转实现大抽速(可达1000~20000 m³/h)。
•需搭配前级泵(旋片泵)使用,因罗茨泵自身无法直接排放大气压气体。
2、旋片泵(前级泵)
•通过偏心转子及旋片将气体压缩并排出,提供初级真空(极限真空约10⁻² Pa)。
•为罗茨泵创造低背压环境,确保机组高效运行。
3、协同工作流程
•气体先由旋片泵抽至中真空范围(1~10 Pa),随后罗茨泵启动,进一步将真空度提升至更高水平。
三、技术特点
1、高效节能
•罗茨泵在低压力区间抽速显著高于单级旋片泵,能耗比传统机组降低30%~50%。
2、宽泛的工作范围
•覆盖中真空至高真空(10⁵~10⁻⁴ Pa),适应多变工艺需求。
3、低振动与低污染
•罗茨泵无油设计减少污染,旋片泵可选油润滑或干式(无油旋片泵),满足洁净要求。
4、智能控制
•现代机组配备PLC控制系统,自动调节泵速、过载保护及启停顺序。
四、典型应用场景
1、光伏与半导体
•用于晶圆镀膜、刻蚀设备的真空环境维持。
2、化工与制药
•溶剂回收、真空干燥、分子蒸馏等工艺。
3、科研与实验室
•同步辐射装置、真空冷冻干燥机等。
4、食品包装
•快速抽除包装内空气,延长保质期。