复合分子泵的工作原理及优点

　　复合分子泵是一种高效的真空泵，电子束加热的方式可以提供高温蒸汽，蒸汽通过在内表面反弹，可以达到高度真空的效果，是用于高真空环境下的气体和同体基发、清洗和流是传感器测试的理想设备。复合分子泵结合了分子泵和扩散泵的特点，具有高抽速，高极限真空，积灰小，稳定性好等特点，被广泛应用于铜氢气气化成膜、金属蒸镀、光刻、等离子体刻蚀、高能物理实验、电视管制造等领域。

　　复合分子泵的工作原理是利用特殊的高温和高速度来工作的。泵启动时，汽化器内部的石墨材料加热，液态或固态物质受热后转化为气态蒸汽便开始向泵头传导。泵头形成高速旋转气流，气体通过旋转气流进入分子泵，在分子泵内部，气体分子将被诱导成为高速匀速热量，进一步碰撞加速，最终变成极空气流。极空气流将通过扩散泵进一步加速，速度将达到大于1000m/s，进而被排出到大气中。

　　复合分子泵因其高效率和稳定性被广泛应用，优点如下所示：

　　1、高效率。复合分子泵的抽气速度比桶式分子泵高，极制动距离短，积灰率低。

　　2、高真空度。由于复合分子泵在高温状态下工作，所以能够达到高真空度，是制造高精度元器件的理想设备。

　　3、稳定性好。复合分子泵的泵头组件的部件都进行精密加工，润滑，从而降低了因摩擦和磨损而造成的振动和噪音。

　　总之，复合分子泵是目前高真空技术中应用很广泛的真空泵浦之一，能够提供稳定、高效、可靠的工作，助力实验室研究和工业制造。

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