旋片真空机组是一种以旋片式机械真空泵为核心,常配以冷凝器、过滤器、电气控制柜等辅助设备组成的成套抽气系统,广泛应用于需要获得中低真空环境的工业和科研领域。其工作压力范围通常在10⁵Pa(大气压)至10⁻¹Pa之间,极限真空可达10⁻²~10⁻³Pa(视具体配置而定),具有结构紧凑、运行稳定、抽速适中、操作简便等特点。
旋片真空泵是该机组的核心部件,其内部装有偏心转子和若干可滑动的旋片。在电机驱动下,旋片在泵腔内高速旋转,借助离心力紧贴腔壁,将泵腔分隔成多个容积周期性变化的工作室,从而实现对气体的吸入、压缩和排出。为提高性能和保护泵体,机组通常配备油气分离器,减少油雾排放;部分高要求应用还会加装前置冷凝器,用于捕集工艺气体中的溶剂或水蒸气,防止其进入泵腔造成乳化或腐蚀。
1、真空度与抽速范围广
极限真空度覆盖1.3Pa至5×10⁻⁴Pa,抽速范围达4L/s至600L/s,可满足从实验室小规模抽气到工业大规模生产的多样化需求。
双级泵通过两级压缩比分担,极限真空度较单级泵提升1-2个数量级,适用于半导体封装、真空镀膜等高精度场景。
2、运行稳定性强
强制进油润滑系统确保旋片与泵腔充分润滑,减少磨损,延长使用寿命(通常达10年以上)。
自动防返油装置(如吸气阀)防止停泵时油液倒灌,保护被抽系统清洁度。
3、环境适应性广
配备气镇阀可抽除少量水蒸气及可凝性气体,扩展应用至真空干燥、食品脱水等领域。
风冷式设计无需外置冷却水,支持24小时连续运行,适应恶劣工况(如高温、粉尘环境)。
