扩散泵机组是一种高真空获得设备,以油扩散泵为主泵,通常与阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵(前级泵)等组成高真空抽气系统。它利用从伞形喷嘴喷出的高速工作介质蒸汽射流,携带扩散到蒸汽射流里的被抽气体,从而实现抽真空的功能。
扩散泵机组的工作原理基于分子撞击扩散的过程。具体来说,由电加热器(电炉)将装在泵腔(油锅)内的液态工作介质加热,使其变成蒸汽。蒸汽通过安装在泵腔里的泵芯喷嘴高速喷出,形成低密度、高速度的蒸汽射流。被抽气体通过扩散进入蒸汽射流中,被下一级蒸汽射流带走,最后由前级泵排出。而工作蒸汽到达水冷的泵壁后,冷凝成为液态沿着泵壁流回油锅,这样周而复始地工作,形成了扩散泵的正常抽气过程。
1、电子工业
真空镀膜设备:扩散泵机组为电子管、X光管、半导体单晶硅的冶炼与提纯提供高真空环境,确保镀膜均匀性和材料纯度。
电子产品排气:在电子元件制造过程中,用于抽取真空腔体内的气体,防止氧化和污染。
2、航空与航天
太空模拟试验装置:模拟太空环境,测试材料在极d真空条件下的性能,如热防护材料、航天器表面涂层等。
粒子加速器:为加速器内部提供高真空环境,减少粒子与气体分子的碰撞,提高加速效率。
3、冶金与材料科学
真空冶炼:在真空环境下熔炼金属,避免氧化和杂质混入,提高金属纯度。
真空烧结:用于粉末冶金工艺,在真空条件下烧结金属粉末,获得高密度、高性能的金属材料。
真空热处理:对金属材料进行真空淬火、回火等热处理,改善材料力学性能。
4、化学与生物医药
高沸点物质蒸馏:在真空条件下蒸馏高沸点油脂、药物成分等,实现提纯和分离。
真空冷冻干燥设备:用于生物制品、药品的冷冻干燥,保留活性成分,延长保质期。
5、光学与科研
光学仪器制造:为光学镜头、激光器等设备提供高真空环境,减少气体分子对光路的干扰。
科研实验:在物理、化学、材料科学等领域,用于获取高真空度,支持前沿研究。
