复合式分子泵是由哪几部分结构组成的呢？

　　复合式分子泵是一种高性能的真空泵，结合了多种技术的优点，具有大抽速、高压缩比和高可靠性等特点，被广泛应用于高真空、超高真空领域。其结构形式多种多样，其中主要包括涡轮叶片不盘式牵引泵的串联组合和涡轮叶片不筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用于提高泵的抽速，而牵引级则主要用于增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。

　　复合式分子泵的主要组成部分及其功能：

　　1、转子（Rotor）

　　功能：转子是分子泵的核心部件，通常由多级叶片或螺旋槽组成，通过高速旋转（10,000~60,000 RPM）将气体分子从入口输送到出口。

　　结构：

　　涡轮级：位于泵的高压侧，通过叶片对气体分子进行动量传递，实现压缩和抽气。

　　牵引级：位于泵的低压侧，利用分子与壁面的碰撞作用，进一步提高抽气效率和极限真空度。

　　材料：通常采用高强度、耐腐蚀的合金材料（如钛合金、不锈钢），以承受高转速和高温环境。

　　2、定子（Stator）

　　功能：定子是泵的静止部分，与转子配合形成抽气通道。其内壁通常经过特殊处理（如镀膜或抛光），以减少气体分子的反射和能量损失。

　　结构：定子上设有进气口、排气口和冷却通道，确保气体流动的顺畅和热量的及时散发。

　　3、轴承系统（Bearing System）

　　功能：支撑转子高速旋转，同时保证密封性和稳定性。

　　类型：

　　陶瓷轴承：耐高温、耐磨损，适用于高转速场景。

　　磁悬浮轴承：无机械接触，减少摩擦和振动，但成本较高。

　　动y轴承：依赖转子旋转产生的气流形成润滑膜，适用于小型分子泵。

　　冷却方式：轴承通常需要强制冷却（如风冷、水冷或油冷），以防止过热损坏。

　　4、驱动系统（Drive System）

　　功能：为转子提供高速旋转动力，通常由电机和变频器组成。

　　组成：

　　电机：多为高速永磁同步电机，具有体积小、效率高的特点。

　　变频器：调节电机转速，实现软启动、平稳运行和过载保护。

　　控制方式：通过闭环控制系统（如PID调节）维持转子转速稳定。

　　5、密封与连接部件

　　功能：确保泵体的气密性，防止外部空气泄漏或内部气体反流。

　　组成部分：

　　金属密封：使用铜垫圈、氟橡胶圈或金属刀口密封，适用于高真空环境。

　　法兰接口：标准法兰（如ISO-KF、CF）用于连接真空系统，需配合密封脂或垫片。

　　轴封：防止驱动轴与泵体之间的气体泄漏，通常采用机械密封或磁性密封。

　　6、冷却系统（Cooling System）

　　功能：带走转子和轴承产生的热量，防止泵体过热。

　　类型：

　　风冷：通过散热风扇或外部风道散热，结构简单但效率较低。

　　水冷：通过循环水冷却，适用于高负荷或大型分子泵。

　　油冷：使用冷却油循环，兼具润滑和散热功能。

　　7、控制器（Controller）

　　功能：监控和调节泵的运行状态，包括转速、功率、温度和故障报警。

　　主要功能：

　　启停控制：实现软启动和平稳停机，避免电流冲击。

　　转速调节：根据工艺需求调整转子速度。

　　状态显示：实时显示真空度、转速、温度等参数。

　　保护功能：过载、过热、断电等异常情况下自动停机。

　　8、进气口与排气口

　　进气口：连接真空系统，抽取气体分子。

　　排气口：将压缩后的气体排出泵外，通常连接到前级泵（如旋片泵或干泵）的进气口。

　　9、支架与固定装置

　　功能：固定泵体并吸收振动，确保运行稳定性。

　　组成：减震垫、弹簧片或刚性支架，根据安装环境选择。