复合式分子泵的安装方法及注意事项

　　复合式分子泵是一种高性能的真空泵，结合了多种技术的优点，具有大抽速、高压缩比和高可靠性等特点，被广泛应用于高真空、超高真空领域。其结构形式多种多样，其中主要包括涡轮叶片不盘式牵引泵的串联组合和涡轮叶片不筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用于提高泵的抽速，而牵引级则主要用于增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。

　　以下是复合式分子泵的安装方法及注意事项：

　　一、安装前准备

　　清洁环境

　　选择干净、干燥、无粉尘的环境进行安装，避免杂质进入泵内。

　　佩戴无尘手套和口罩，防止污染。

　　检查设备

　　确认分子泵外观无损伤，转子转动灵活，无卡滞或异常声响。

　　检查电源线、控制器和连接法兰是否完好。

　　工具准备

　　准备专用工具（如扭矩扳手、法兰对中工具）、真空密封脂、清洁布等。

　　确保工具无油污或杂质。

　　二、安装步骤

　　1.安装位置确认

　　将分子泵安装在真空系统的合适位置，通常与前级泵（如旋片泵或干泵）串联使用。

　　确保泵体水平，避免倾斜导致振动或损坏。

　　2.法兰连接

　　在法兰密封面均匀涂抹真空密封脂（如氟橡胶脂），避免过量导致污染。

　　使用扭矩扳手按规定力矩拧紧螺栓，确保法兰连接紧密且不漏气。

　　对中检查：使用法兰对中工具确保泵与系统法兰同轴，偏差不超过允许范围。

　　3.电气连接

　　将分子泵电源线连接到控制器，注意区分正负极和信号线。

　　检查控制器参数设置（如转速、启停程序）是否与泵匹配。

　　4.前级泵连接

　　将分子泵的排气口通过管路连接到前级泵的进气口，确保管路密封性。

　　安装气动阀或截止阀，便于控制气流和保护泵。

　　5.系统检漏

　　启动前级泵，对系统进行抽真空，用氦质谱仪或压力计检测连接部位是否漏气。

　　确保分子泵与系统之间的漏率符合要求（通常≤1×10⁻⁹Pa·m³/s）。

　　三、启动与调试

　　预启动检查

　　确认前级泵已运行并达到分子泵启动所需的真空度（通常≤10 Pa）。

　　检查控制器参数设置是否正确，如转速、加热电流等。

　　启动分子泵

　　通过控制器启动分子泵，观察转速是否正常上升，有无异常振动或噪音。

　　初始运行阶段需低速预热（如100~200 Hz），然后逐步提升至额定转速。

　　性能测试

　　用真空计测量系统极限真空度，确认是否达到设计要求（如1×10⁻⁷~1×10⁻⁹Pa）。

　　检查泵的抽速和稳定性，必要时调整前级泵流量或系统参数。

　　四、注意事项

　　避免污染

　　安装过程中严禁油脂、灰尘或纤维进入泵内，尤其是转子和轴承部分。

　　使用专用清洁工具和无纺布，避免划伤密封面。

　　防震与固定

　　泵体需牢固固定在基座上，使用减震垫或弹簧片减少振动传递。

　　避免泵体受到冲击或外力挤压。

　　温度控制

　　分子泵运行时会产生热量，需确保散热良好，避免长时间高温运行。

　　定期检查冷却系统（如风冷或水冷）是否正常。

　　停机维护

　　关机时先停止分子泵，再关闭前级泵，防止反流污染。

　　定期检查转子磨损情况、密封件老化程度，及时更换易损件。