扩散泵机组也是需要进行维护保养的

　　扩散泵机组是一种高真空获得设备，以油扩散泵为主泵，通常与阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵（前级泵）等组成高真空抽气系统。它利用从伞形喷嘴喷出的高速工作介质蒸汽射流，携带扩散到蒸汽射流里的被抽气体，从而实现抽真空的功能。

　　扩散泵机组的工作原理基于分子撞击扩散的过程。具体来说，由电加热器（电炉）将装在泵腔（油锅）内的液态工作介质加热，使其变成蒸汽。蒸汽通过安装在泵腔里的泵芯喷嘴高速喷出，形成低密度、高速度的蒸汽射流。被抽气体通过扩散进入蒸汽射流中，被下一级蒸汽射流带走，最后由前级泵排出。而工作蒸汽到达水冷的泵壁后，冷凝成为液态沿着泵壁流回油锅，这样周而复始地工作，形成了扩散泵的正常抽气过程。

　　扩散泵机组的保养方法：

　　一、定期清洁

　　目的：去除积累的灰尘、油污等杂质，防止影响泵的性能或导致泵损坏。

　　步骤：

　　使用专用的清洁剂和工具进行清洁。

　　避免使用腐蚀性强的化学试剂，以免损坏泵体。

　　二、检查密封性

　　目的：确保扩散泵的密封性，防止泄漏。

　　步骤：

　　仔细检查泵的各个密封部位，如密封圈、密封垫等。

　　如发现密封部件损坏或老化，应及时更换。

　　三、更换损坏部件

　　目的：防止因部件磨损、老化而影响泵的性能和使用寿命。

　　步骤：

　　对泵的各个部件进行全面检查。

　　一旦发现损坏部件，应立即予以更换。

　　四、保持运行环境良好

　　目的：防止潮湿、高温、粉尘等恶劣环境对泵造成损害。

　　步骤：

　　保持泵的运行环境干燥、清洁、通风良好。

　　定期对运行环境进行清理和检查，确保其符合泵的运行要求。

　　五、冷却水管理

　　目的：确保扩散泵在工作过程中冷却水通畅，防止泵过热。

　　步骤：

　　在扩散泵工作过程中，确保冷却水平稳供应。

　　停止加热后，待泵工作液完q冷却后再关闭冷却水。

　　六、气体管理

　　目的：防止被抽送的气体对泵造成损害。

　　步骤：

　　确保被泵送的气体是干燥、无腐蚀性、无粉尘的。

　　在泵停止工作时，保持泵内真空状态，防止泵油劣化。

　　七、长期存放管理

　　目的：防止扩散泵在长期存放过程中受到损害。

　　步骤：

　　如扩散泵暂时不使用，储存时应保持真空状态，防止泵油污染和腐蚀各部件。

　　将冷却水套的剩余水吹干净，并将室温保持在10至40摄氏度之间。

　　八、定期检查与维护

　　目的：确保扩散泵长期稳定运行。

　　步骤：

　　定期检查泵油是否被还原或氧化，按相应要求进行加油或更换处理。

　　对零件及泵腔进行清洗和烘干处理，然后依次组装，保持泵芯与泵底垂直，泵腔同心，各级喷嘴间隙按原要求调整。

　　在重新开启真空设备之前，注意进行检漏工作，确保连接处密封良好。