扩散泵机组是一种高真空获得设备,以油扩散泵为主泵,通常与阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵(前级泵)等组成高真空抽气系统。它利用从伞形喷嘴喷出的高速工作介质蒸汽射流,携带扩散到蒸汽射流里的被抽气体,从而实现抽真空的功能。
扩散泵机组的工作原理基于分子撞击扩散的过程。具体来说,由电加热器(电炉)将装在泵腔(油锅)内的液态工作介质加热,使其变成蒸汽。蒸汽通过安装在泵腔里的泵芯喷嘴高速喷出,形成低密度、高速度的蒸汽射流。被抽气体通过扩散进入蒸汽射流中,被下一级蒸汽射流带走,最后由前级泵排出。而工作蒸汽到达水冷的泵壁后,冷凝成为液态沿着泵壁流回油锅,这样周而复始地工作,形成了扩散泵的正常抽气过程。
1、高真空度:
能够获得较高的真空度,通常在10^-2至10^-4Pa范围内,部分高性能机组甚至可达到更高真空度,如10^-6Pa。
2、大抽气能力:
具有强大的抽气能力,抽速范围广泛,从190L/S至49000L/S(或更高,如某些机组可达到120000L/S)不等,可根据具体需求进行选择。
3、稳定连续工作:
能够长时间稳定连续工作,适用于需要持续高真空环境的场合。
4、广泛应用:
被广泛应用于电子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物医药、原子能、宇宙探测等高科技领域,以及各种真空炉、真空镀膜设备、真空冷冻干燥设备等。
5、结构组成:
通常由油扩散泵作为主泵,与阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵(前级泵)等组成一个完整的高真空抽气系统。
6、性能优化:
在设计和制造过程中采用了多种优化措施,如采用拉伸工艺减少焊缝、增加强度、降低放气量;设置油观察窗、注油和放油口、泵油控温过热保护装置、冷却水温过热警报装置等,以提高机组的性能和可靠性。
7、节能环保:
随着技术的不断进步,现代扩散泵机组在节能环保方面也取得了显著进展。例如,通过优化加热效率、降低能耗、减少返油率等措施,降低了机组的运行成本和对环境的影响。