涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。 是由动叶轮与静叶轮组合而成,比扩散泵节能、无油蒸汽污染,同时具有分子流时抽速大、压缩比高的特点,是目前国内大抽速的分子泵,动叶轮采用变截面加工,其强度增加重量减少,使分子泵性能更可靠、稳定。
泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外,还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108~109;对氢为102~104;对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。
泵的极限压力为10-9Pa,工作压力范围为10-1~10-8Pa,抽气速率为几十到几千升每秒(1L=10-3m3)。
涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面醉大尺寸的流态)下工作才能显示出它的*性,因此要求配有工作压力为1~10-2Pa的前级真空泵。
分子泵本身由转速为10000~60000转/分的中频电动机直联驱动。