涡轮分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子运动从而获得超高真空的一种机械式真空泵，是由动叶轮与静叶轮组合而成，比扩散泵节能、无油蒸汽污染，同时具有分子流时抽速大、压缩比高的特点，是目前国内大抽速的分子泵，动叶轮采用变截面加工，其强度增加重量减少，使分子泵性能更可靠、稳定。
涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
此分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。其广泛应用于电子、冶金、化工、科研及真空技术的各个领域。
是靠高速转动的转子携带气体分子运动从而获得超高真空的一种机械式真空泵，是由动叶轮与静叶轮组合而成，比扩散泵节能、无油蒸汽污染，同时具有分子流时抽速大、压缩比高的特点，是目前国内大抽速的分子泵，动叶轮采用变截面加工，其强度增加重量减少，使分子泵性能更可靠、稳定。
更新时间：2020-12-24
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