涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
是由动叶轮与静叶轮组合而成，比扩散泵节能、无油蒸汽污染，同时具有分子流时抽速大、压缩比高的特点，是目前国内大抽速的分子泵，动叶轮采用变截面加工，其强度增加重量减少，使分子泵性能更可靠、稳定。
涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
涡轮分子泵的性能:
泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮（或空气）的压缩比为108～109；对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。
泵的极限压力为10-9Pa，工作压力范围为10-1～10-8Pa，抽气速率为几十到几千升每秒（1L=10-3m3）。
涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面大尺寸的流态）下工作才能显示出它的*性，因此要求配有工作压力为1～10-2Pa的前级真空泵。
分子泵本身由转速为10000～60000转/分的中频电动机直联驱动。
更新时间：2020-09-27
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