真空镀膜、半导体制造、表面分析等领域往往需要洁净的高真空环境，复合分子泵作为高真空获得的核心设备，结合了涡轮分子泵抽速大与牵引分子泵压缩比高的特点，可稳定将真空腔室从低真空抽至高真空乃至超高真空区间，是各类真空系统常用的主抽气设备。
一、高转速转子的动量传递基础
复合分子泵采用同轴一体化转子结构，转子由内置电机驱动做高速旋转，转子与静止的泵体、静叶、泵腔壁之间保持微小均匀间隙，既避免高速运转时发生刮蹭，也构成气体分子流动的受限通道。
泵入口直接连通被抽真空腔室，排气口对接前级机械泵——分子泵无法在大气压力下直接启动工作，需先由前级泵将系统预抽至低真空状态，泵内气体进入分子流状态后，分子泵才能启动发挥抽气作用。
二、涡轮叶栅级的逐级动量抽送
靠近泵入口的是多组涡轮叶栅级，由动叶片与静叶片交替排布组成。安装在转子上的动叶片带有特定倾斜角度，随转子高速旋转时以很高的线速度扫过泵腔，撞击进入叶栅的气体分子，将自身动能传递给原本做无规则热运动的气体分子，使分子获得沿叶片倾斜方向的定向动量，向泵下游方向运动。
固定在泵体上的静叶片同样带有匹配的倾斜角度，对动叶片送来的气流起到导流作用，将分子有序导入下一组动叶片入口，同时减少分子向上游返流。气体分子每经过一级动叶就获得一次定向推动，经过多级叶栅的逐级传递，被持续向泵体下方输送，压力逐步升高。涡轮级在高真空分子流区域抽速大，对大分子量气体抽除效率高。
三、牵引级的高压比压缩增效
经过涡轮级初步压缩的气体进入泵体下部的牵引级(也称拖曳级)区域，牵引级多为盘式或筒式结构，高速旋转的转盘(或转筒)与静止的泵壁之间形成狭窄的螺旋形流道。转盘高速转动时，通过气体分子与盘面的摩擦拖拽作用，带动通道内的分子沿螺旋流道持续向排气口方向流动，对气体进行进一步压缩。
牵引级的压缩能力高于涡轮级，对氢气、氦气等分子量较小的轻气体也能形成有效压缩，可将气体压力提升至前级机械泵能够稳定抽除的范围，弥补了单一涡轮结构在排气压力较高时抽速下降、轻气易返流的不足。涡轮级与牵引级同轴旋转，形成连续的压缩链路。
四、连续抽气闭环与稳定运行
气体在泵内依次经过涡轮级获得定向动量并初步压缩，再经牵引级完成高压比压缩后从排气口排出，由前级泵持续抽走，形成稳定连续的抽气过程。泵体配套冷却结构带走高速运转产生的热量，轴承系统支撑转子平稳旋转，可选用脂润滑轴承或磁悬浮轴承减少摩擦与油蒸气返流，保障抽气环境洁净。
复合分子泵通过两级结构的协同作用，兼具大抽速与高压缩比的优势，抽气过程洁净无油污返流，可长时间维持稳定真空环境，广泛适配半导体制造、真空镀膜、科研仪器、航空航天模拟等需要洁净高真空的应用场景。
更新时间：2026-09-30
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