分子泵机组凭借稳定的真空控制能力与多元适配特性,已在半导体、光伏、科研实验等领域实现初步应用,为行业高真空环境搭建需求提供新选择,成为推动相关产业生产与研发效率提升的设备新支撑。
一、模块化设计:构建全流程真空解决方案
•核心部件协同:机组以分子泵为核心,通过高速转子定向输送气体分子,实现高等级真空度;搭配的前级真空泵提供前置真空条件,确保分子泵稳定启动;
•智能监控辅助:真空测量系统实时追踪真空度变化,为参数调整提供精准数据;控制系统整合各部件运行逻辑,实现自动化启停与状态监控,大幅降低人工操作压力。
各部件协同运转,覆盖从真空获取到监控的全流程,满足不同场景下的真空需求。

二、性能优势:贴合行业实际作业需求
•真空覆盖广:可从低真空延伸至超高真空,既能满足半导体芯片刻蚀环节对高洁净度真空的要求,也能适配光伏行业薄膜沉积工艺的精准真空控制;
•运行体验佳:运行时噪音低,避免干扰生产车间或实验室环境;设备启动速度快,缩短从开机到达到目标真空度的耗时,有效提升作业效率;
•维护更便捷:模块化布局让后期维护操作简单,部件拆卸与更换便捷,减少设备停机时间,保障生产与实验的连续性。
三、多领域落地:为产业升级注入新动力
目前,该机组已在多个关键领域实现应用,为行业发展提供设备支持:
•半导体行业:为芯片光刻、镀膜等关键工序提供稳定真空环境,助力提升芯片生产精度与成品率;
•光伏领域:通过精准控制真空度,保障太阳能电池片制备中的薄膜沉积质量,推动电池转换效率提升;
•科研领域:成为高校与科研机构的重要实验设备,支持材料科学、物理学等前沿研究,提供可靠真空条件;
其他行业:电子器件封装、真空镀膜等领域也开始引入该机组,为技术创新与产业升级注入新动力。