在真空镀膜、半导体制造、质谱分析、加速器、表面科学研究等工艺中，需要将真空腔体抽到高真空乃至超高真空状态。单一类型的真空泵往往难以兼顾从较低真空到高真空的全过程抽气需求，复合分子泵在传统涡轮分子泵结构基础上，把涡轮级与牵引级组合到同一转子中，兼顾了高压缩比与较宽的工作压强区间，是获得高真空环境常用的核心真空设备。
涡轮级与牵引级组合，抽气区间更宽
复合分子泵的转子由前段涡轮级叶片和后段牵引级(螺旋槽级)结构组合而成。涡轮级依靠高速旋转的多级叶片对气体分子进行定向压缩，对轻质气体具有较高压缩比，承担主要抽气任务；牵引级则通过转子表面螺旋槽对气体分子形成拖曳牵引，对重质气体和粉尘颗粒适应能力较好。
两级组合后，泵在较高入口压强下仍可稳定运转，启动压强区间比普通涡轮分子泵更宽，可缩短前级泵配合抽真空的时间，减少系统达到目标真空度所需的等待，提升设备使用效率。
抗粉尘、耐腐蚀，适应恶劣工况
复合分子泵的牵引级结构间隙相对较大，对气体中夹带的微小粉尘颗粒、工艺副产物耐受能力较强，不易像精密涡轮叶片那样因颗粒沉积而卡滞或动平衡失衡。在镀膜、刻蚀、溅射、真空冶金等会产生粉尘或工艺残留的工艺中，使用复合分子泵可减少因粉末堆积导致的泵体损伤和频繁维护。
泵体与气体接触部位可采用耐腐蚀材质，部分机型配置吹扫气路，通入洁净干燥氮气保护轴承与电机腔，减少腐蚀性气体侵蚀，延长泵在腐蚀性工艺气体环境中的使用寿命。
抽速稳定，极限真空表现好
复合分子泵转子在高速电机驱动下持续稳定旋转，各叶片级与牵引级协同作用，对氮气、氩气等常用工艺气体保持较高的抽气速度，可获得稳定的高真空环境，满足镀膜、分析仪器、半导体设备对真空度稳定性的要求。
泵体采用全金属密封结构与精密加工转子，密封性好，配合前级泵抽气可获得较低的极限压强，在高真空区间仍保持有效抽速，减少残余气体对工艺过程与检测结果的影响。
结构紧凑，安装维护便捷
复合分子泵将涡轮级与牵引级集成在同一转子轴上，整体结构紧凑，在同规格抽速下外形体积与重量较小，方便安装在对空间要求较紧凑的设备机架或腔体接口上，减轻设备整体设计负担。
泵体多采用立式、卧式或任意角度安装结构，可根据腔体布局灵活选择安装方向，适配不同设备结构。使用中只需定期检查前级泵状态、更换轴承(部分机型采用磁悬浮或陶瓷轴承，无需润滑油脂)或按周期维护，日常维护工作量相对较少，运行相对平稳、振动小、噪音低。
应用场景多元，适配多行业
复合分子泵广泛适配各类需要高真空的工艺与仪器：真空镀膜行业用于光学镀膜、装饰镀膜、工具涂层设备的抽真空；半导体与平板显示行业用于刻蚀、离子注入、溅射、PVD/CVD工艺腔体抽气；分析仪器中用于质谱仪、电子显微镜、表面分析仪器的真空系统；科研领域用于加速器、同步辐射、材料表面科学研究装置的真空获得；真空冶金、真空干燥、真空脱气等工业过程也可使用。
可与旋片泵、干式螺杆泵、罗茨泵等前级泵组合成真空机组，覆盖从粗真空到高真空的多级抽气需求；配合真空阀门、真空计、控制器组成完整真空系统，可实现自动控制与联锁保护。对于宽压强区间抽气、粉尘较多、腐蚀性气体的工况，复合分子泵在运行稳定性与维护便利性方面表现良好，是真空系统中兼顾性能与耐受能力的可靠真空获得设备。
更新时间：2026-10-20
点击次数：12
当前位置：
