升级你的设备认知：手动真空角阀意想不到的应用领域

　　手动真空角阀是一种专用于高真空或超高真空系统中的手动控制阀门，其阀体呈90°直角结构，主要用于接通或切断真空管路中的气流，广泛应用于半导体制造、镀膜设备、粒子加速器、科研实验装置及分析仪器等对密封性和洁净度要求高的领域。

　　阀体通常采用优质不锈钢（如304或316L）整体加工而成，内表面经电解抛光处理（粗糙度Ra≤0.4μm），以最大限度减少表面吸附和气体释放。密封方式多采用金属密封（如铜垫、不锈钢刀口密封）或高性能氟橡胶（如FKM、FFKM）O型圈，可满足从粗真空（10⁵Pa）到超高真空（≤10⁻⁷Pa）的全范围使用需求。其中，金属密封角阀可耐受高温烘烤（200–450℃），适用于需彻d除气的洁净真空环境。

　　手动真空角阀的核心应用领域：

　　1、半导体制造

　　应用场景：在光刻机、薄膜沉积设备、干法刻蚀机等紧凑真空管路中，手动真空角阀用于连接主泵（如分子泵）与前级泵（如干泵），或工艺腔与前级泵之间的粗抽/预真空管路。

　　优势：直角结构适配设备内部狭小空间，减少气体吸附与流动阻力；手动操作便于精细调试，保障晶圆加工洁净度；316L ELI阀体可防金属离子污染，满足超高真空（≤1.3×10⁻⁷Pa）需求。

　　2、实验室科研

　　应用场景：在多通道真空反应装置、质谱仪、扫描电子显微镜（SEM）等设备中，手动真空角阀用于隔离或接通真空系统，营造无污染实验环境。

　　优势：手动型便于实验人员根据需求灵活调节；角型结构实现多管路垂直/水平转向集成，节省实验台空间；电解抛光流道内壁（Ra≤0.4μm）减少气体吸附，提高实验重复性。

　　3、航空航天

　　应用场景：在卫星、火箭等狭小空间真空系统中，手动真空角阀用于调节空间舱内压力，或隔离引擎细小区域的气体流动。

　　优势：全金属结构（如304/316L不锈钢）耐高温、抗腐蚀，适应极d环境；低放气设计（放气率≤5×10⁻⁹Pa·L/s）确保系统长期稳定性。

　　4、光伏产业

　　应用场景：在PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备中，手动真空角阀用于边角管路的连接与控制，优化气体传输路径。