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真空提拉阀自身拥有怎样的特点呢?

  真空提拉阀是一种专门用于真空系统中控制气体流动的装置,通过机械结构实现阀门的开启与关闭,确保真空环境下的密封性和操作可靠性。其核心功能在于维持真空系统的稳定性,防止气体泄漏,广泛应用于需要高真空环境的工业领域。
  真空提拉阀通常由阀体、阀杆、密封组件及驱动机构组成。以LNG气瓶抽真空推拉阀为例,其结构包括手轮、止螺栓、活接、阀体及密封圈等部件。手轮通过阀杆控制活接的移动,活接与阀体连接处设置多层密封圈(如密封圈Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ),确保推拉过程中无泄漏。工作时,旋转手轮带动阀杆移动,活接随之调整位置,实现阀门的开启或关闭。这种设计使阀门在抽真空过程中既能高效抽气,又能在结束后轻松与真空堵头分离。
  真空提拉阀的主要特点:
  一、优异的真空密封性能
  高真空/超高真空适用:采用金属密封(如不锈钢对不锈钢、铜垫、银垫)或高弹性氟橡胶(FKM)密封,可实现10⁻⁷Pa至10⁻¹⁰Pa甚至更高的真空度。
  泄漏率极低:氦质谱检漏泄漏率可达到≤1x10⁻⁹Pa·m³/s,满足超高真空系统要求。
  密封面保护:阀板升降过程中不与阀座摩擦,避免划伤密封面,延长密封寿命。
  二、洁净度高,颗粒释放少
  无摩擦启闭:阀板在开启和关闭过程中是垂直升降,不与阀体或密封面产生滑动摩擦,极大减少了金属颗粒或密封材料碎屑的产生。
  适用于高洁净环境:特别适合半导体、光电子等对颗粒污染极其敏感的工艺,防止污染晶圆或薄膜。
  三、流阻小,通径大
  全通径设计:当阀门完q开启时,阀板完q提升至阀体上方,流道与管道内径基本一致,形成直通式通道。
  流阻极低:几乎不产生压降,有利于维持系统真空度和提高抽气效率。
  便于清洁:直通结构易于清洗和烘烤。
  四、结构简单,可靠性高
  运动部件少:主要运动部件为阀杆和阀板,结构简单,故障率低。
  动作可靠:开启和关闭位置明确,可通过限位开关或传感器精确检测。
  耐久性强:在正确操作下,可承受数万次以上的开关循环。
  五、可高温烘烤
  金属密封阀:采用金属-金属密封的真空提拉阀可承受200°C至450°C的高温烘烤,有效去除阀体内部的吸附气体和水分,快速获得高真空。
  材料耐热:阀体、阀杆、阀板通常采用304、316L不锈钢,耐高温和腐蚀。
  六、安装方向灵活
  通常可水平或垂直安装(阀杆向上),适应不同的管路布局需求。
  垂直安装时,重力有助于阀板关闭,但需确保驱动机构能克服重力开启。
  七、标准接口,易于集成
  采用标准真空法兰连接,如:
  KF(Quick Flange):DN10~DN50,快卸卡箍连接,常用。
  ISO:大口径,如ISO63、ISO100等。
  CF(ConFlat):金属密封,用于超高真空。
  便于与真空泵、真空计、腔体等设备快速连接。
  八、维护相对简便
  阀门结构开放,易于拆卸和清洁。
  密封件(如O型圈)更换方便。
  可进行原位或离线维护。

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