复合式分子泵的保养是确保其长期稳定运行的关键

　　复合式分子泵是一种高性能的真空泵，结合了多种技术的优点，具有大抽速、高压缩比和高可靠性等特点，被广泛应用于高真空、超高真空领域。其结构形式多种多样，其中主要包括涡轮叶片不盘式牵引泵的串联组合和涡轮叶片不筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用于提高泵的抽速，而牵引级则主要用于增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。

　　复合式分子泵的保养是确保其长期稳定运行和延长使用寿命的关键。

　　1、避免频繁启停：分子泵在匀速工作时，转子叶片仅受到离心力的作用，而在加速和减速时，叶片还会受到转动切线方向的力，这对叶片的疲劳寿命贡献更大。频繁启停还会导致内部发热严重，加剧轴承磨损。

　　2、选择合适的冷却方式：根据分子泵的规格和工作环境，选择适当的冷却方式，如自然冷却、强制风冷或水冷，并保持环境温度在5~35摄氏度之间。

　　3、避免空挡滑行：长时间在共振频率运转会增加轴承负荷，进而增加故障风险。建议停机时手动充气或使用专用充气阀快速停机。

　　4、监测前级真空：分子泵必须配合合适的前级泵工作，监测排气口压力，避免因前级泵性能下降而使分子泵排气压力过高。

　　5、定期更换润滑油：分子泵油量应处于油标上下限之间，不得低于油标下限。正常工作后每工作4000小时或一年至少更换一次润滑油。

　　6、注意冲击防护：分子泵是高旋转机械，动静片间间隙很小，不能抗过大的冲击。

　　7、检查和维护：经常保持分子泵外壳的清洁，正常生产过程中须经常检查分子泵温度，听是否有异常震动和声音。

　　8、处理故障：当分子泵出现故障时，应根据故障提示进行相应处理。例如，轴承烧毁可能是由于缺乏定期维护、冷却不良、未及时换油或抽除的气体中含有大量粉尘等原因。