这就是涡轮分子泵优异的性能！

　　主要有立式和卧式两种。

　　动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度（一般为150～400米/秒）。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。右图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。

　　涡轮分子泵的性能;

　　泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮（或空气）的压缩比为108～109；对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。

　　泵的极限压力为10-9Pa，工作压力范围为10-1～10-8Pa，抽气速率为几十到几千升每秒（1L=10-3m3）。

　　涡轮分子泵必须在分子流状态（气体分子的平均自由程远大于导管截面醉大尺寸的流态）下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10-2Pa的前级真空泵。

　　分子泵本身由转速为10000～60000转/分的中频电动机直联驱动。